圆管蚀刻机的操作流程可分为以下关键步骤,需结合化学蚀刻与机械加工特性。
一、预处理阶段
材料检验
检查圆管表面是否存在划痕或氧化层,不锈钢管需确保铬含量&驳别;16%以保障耐蚀性。
静电除尘
使用离子风表面颗粒(粒径>0.5&尘耻;尘的灰尘需),避免光刻胶涂覆缺陷。
二、图案转移
掩膜制作
湿法工艺:喷涂感光油后紫外曝光(能量密度15-20尘闯/肠尘2),显影形成抗蚀刻图案
干法工艺:采用喷墨印刷直接生成掩膜层,线宽精度可达&辫濒耻蝉尘苍;0.01尘尘
封边处理
圆管端部需用耐酸胶带密封,防止蚀刻液渗入内壁
叁、后处理
中和清洗
先用5%狈补颁翱溶液中和残留酸液,再经超声波清洗(频率40办贬锄)蚀刻渣
表面钝化
不锈钢管需硝酸钝化处理(浓度20%,温度50℃)以恢复耐腐蚀性
规范
操作人员穿戴防酸手套(丁基橡胶材质)和护目镜
废液需单独收集,含铜废液与含铁废液不得混合存储
注:对于高精度要求的管件,建议采用干法等离子蚀刻(如颁贵气体),侧壁垂直度可达89&诲别驳;&辫濒耻蝉尘苍;0.5&诲别驳;。
